隔膜阀 LD

气动手动隔离

产品概述
Jewellok LD SERIES 316L VIM‑VAR 不锈钢超高纯度膜片阀为半导体气体分配系统提供流体隔离。适用于无尘室，能在阀门歧管箱、气体柜和用气点连接处控制特殊、危险及腐蚀性气体，确保零污染。

核心技术

• VIM‑VAR 冶金：316L 双真空熔炼并锻造，减少非金属夹杂物，提升耐腐蚀性并降低氢致脆化风险。
• 电解抛光湿流通道：内部流道电解抛光至超光滑表面（< 5 μin Ra），以减少颗粒滞留并提高冲洗效率。
• 密封型膜片密封：采用高耐久合金实现金属对金属膜片密封，避免软弹性体；氦质谱泄漏率 < 1×10-9 atm·cc/s。
• 零死体积：优化内部结构以防止虚拟泄漏和流体滞留，保护亚微米级晶圆工艺免受痕量污染物影响。

安装与安全规范
阀门双袋包装以便无尘室处理。仅在认证清洁环境中安装。按流向箭头定位阀体，使用带金属垫片的 VCR 面密封接头连接。在引入有毒或自燃性介质前，应进行氦泄漏测试和氮气置换。安排定期检查以确保气动或手动执行机构性能。

LD SERIES — 低压手动膜片阀
特点

• 阀体：316L VIM‑VAR 不锈钢，适用于超高纯度应用；湿表面粗糙度 < 5 μin Ra；设计最小化滞留区，便于冲洗并最大化通量。

膜片

• 采用 Hastelloy C‑22 或基于钴的超级合金（UNS R30003），具有较高强度和耐腐蚀性，针对长循环寿命优化。

阀座

• 完全包覆式 PCTFE 阀座，抗膨胀和污染，降低颗粒产生并改善氦气密封性能；在严格洁净流程下组装和包装。
• 每件产品出货前均进行氦气泄漏测试。

技术数据
提供参考尺寸图和流道示意图（尺寸以毫米为单位；如有变更恕不另行通知）。

流道形态
优化的流道几何形状以减少死体积并提高置换效率。

订购信息
提供标准订购规格和型号配置；可用选项请参考订购表或产品文档。

技术规格

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups