概述- HD SERIES 高压气动隔膜阀,针对超高纯度应用设计,适用于半导体、实验室及其他高科技行业。
特点- 超高纯度设计,最小化污染和滞留区域。
- 优化的流道可实现完全清洗、吹扫并最大化流量能力。
- 符合半导体行业要求的高洁净度组装与包装。
- 每件产品在出厂前均进行氦密性测试。
阀体- 材质:316L VIM‑VAR 不锈钢,适用于超高纯度场合。
- 内表面粗糙度可达 Ra 5 μin,保证流道的完全可清洁性。
- 设计最小化滞留区域,便于吹扫并最大化流量。
隔膜- 材料选项:Hastelloy C‑22 或基于钴的超级合金(UNS R30003),具备强度与耐腐蚀性。
- 优化设计以延长循环寿命。
阀座- 全封闭 PCTFE 阀座设计,提供优异的抗膨胀和抗污染能力。
- 提升氦密性测试性能并将颗粒产生降至最低。
- 设计以实现长循环寿命。
技术数据产品页面提供技术图和尺寸图。尺寸以毫米为单位,仅供参考,可能更改。
产品尺寸尺寸以毫米为单位,仅供参考,可能更改。
订购信息页面列出标准订购规格和型号选项(订购详情见产品页面的文档和图片)。
规格 / 技术参数- 系列:HD SERIES
- 阀体材料:316L VIM‑VAR 不锈钢
- 内表面粗糙度:最高 Ra 5 μin
- 隔膜材料:Hastelloy C‑22 或基于钴的超级合金(UNS R30003)
- 阀座材料/结构:全封闭 PCTFE 阀座
- 洁净度:面向半导体应用的高洁净组装与包装
- 测试:每台产品均进行氦密性测试
- 应用:半导体、实验室专用气体、工业气体分配及其他高纯度气体系统