隔膜阀

气动调节用于气体

超高纯度隔膜阀
低压密封气动隔膜阀

特点
阀体

• 316L VIM‑VAR 不锈钢阀体材料，适用于超高纯度应用。
• 内表面粗糙度可达 Ra 5 µin；流道可完全清洗。
• 结构设计尽量减少滞留区域，便于吹扫并最大化流量能力。

隔膜

• 采用 Hastelloy C‑22 或钴基超合金（UNS R30003），具有优异的强度和耐腐蚀性。
• 设计优化以实现长寿命循环性能。

阀座

• 全封闭 PCTFE 阀座设计，对膨胀和污染具有优异的抵抗力。
• 氦密封试验性能改进。
• 颗粒产生量少且循环寿命长。

其他产品属性

• 高洁净度装配与包装，适用于高纯度半导体行业。
• 每件产品出厂前均经过氦检测试验。

技术数据
提供技术示意图和尺寸图以供参考（毫米尺寸仅供参考，可能会变更）。

产品尺寸
产品图中显示的尺寸因型号而异；有关确切尺寸，请参阅订购规格或产品图纸。

流道形式
流道几何形状已优化，以最小化滞留区域并最大化流量能力；详情请参阅流道示意图。

订购信息
提供标准订购规格和型号示意图。根据订购信息所示，可提供定制规格和型号。