热气体压力调节器 JR1000

化工产品隔膜单级

产品概述
针对半导体厂与先进光伏（PV）气体分配管线设计的超高纯度（UHP）气体阀门与调压解决方案，适用于洁净室连续运行及六个九（99.9999%）纯度气体流。

核心概述
UHP 阀门与调压器是半导体制造与光伏电池生产的关键基础件。来自成熟中国供应商的高精度组件符合国际材料洁净度、泄漏完整性及低颗粒产生的标准。

技术规格与材料科学

• 优质金属学：采用二次熔炼（double‑melted）316L VIM VAR 不锈钢锻造，减少夹杂物，提升化学耐蚀性。
• 表面拓扑：湿润通道经电解抛光，表面粗糙度 Ra < 5 μin，减少颗粒滞留并便于快速吹扫。
• 密封性：金属‑对‑金属隔膜密封，氦泄漏率 < 1×10-9 atm·cc/s。

市场战略性优势

• 良率保护：在沉积与蚀刻过程中完全隔离有毒、腐蚀性及自燃性气体（如硅烷、氨），保护晶圆与衬底。
• 系统集成：标准 VCR 面密封接口，兼容阀歧管箱（VMB）、气体柜及自动化系统。
• 采购效率：直接采购选项可优化成本，同时提供适用于洁净室、24/7 连续运行的硬件。

产品系列 — JR1000 Series
JR1000 Series — 单级压力调节器，适用于低到中等流量应用。

产品特性

• 阀体材料：SS 316L；可选 316L VIM VAR。
• 金属对金属隔膜密封。
• 内部电解抛光处理，达成 Ra < 5 μin。
• 内部容积小以最小化气体滞留。
• 最大进口压力可达 3500 psig。
• 流量系数选项：Cv 0.09 与 Cv 0.15。
• 流量能力：标准 30 SLPM；高流量（HF）选项 120 SLPM。
• 洁净室装配与包装；每台出厂前均经过氦检测试验。

技术数据要点
可提供技术图纸、尺寸图与流量曲线，说明 JR1000 系列的机械布局、性能曲线与订货矩阵。尺寸以毫米为单位；完整规格请参见产品数据表。

技术数据 / 规格

• 系列：JR1000 Series（单级压力调节器）。
• 阀体材料：316L 不锈钢；可选 316L VIM VAR。
• 湿润表面处理：电解抛光，Ra < 5 μin。
• 密封：金属‑对‑金属隔膜；氦泄漏完整性 < 1×10-9 atm·cc/s。
• 进口压力等级：最高 3500 psig。
• 流量系数：Cv = 0.09 与 0.15。
• 流量能力：标准 30 SLPM；HF 选项 120 SLPM。
• 连接：标准 VCR 面密封，便于集成到 VMB 与气体柜。
• 应用：半导体厂、先进光伏生产、实验室及高纯度气体分配系统。
• 测试：每台设备进行氦泄漏测试；洁净室组装与包装。