气体调节减压器 JR1000

隔膜单级316L不锈钢

概述
JR1000 系列为单级超高纯度（UHP）减压调压器，适用于半导体及其他高纯度行业的低至中等流量气体输送。采用 SS 316L 材料并配备金属对金属隔膜密封，减小内部死体积，输入压力可达 3500 psig。

特点

• 阀体材料：SS 316L、SS 316L VAR。
• 金属对金属隔膜密封，适用于 UHP 环境。
• 内部电解抛光，表面粗糙度可达 Ra 5 μin。
• 内部体积小，减少污染与置换时间。
• 最大进口压力：可达 3500 psig。
• 流量系数（Cv）：0.09 和 0.15。
• 最大流量：标准 30 SLPM；高流量（HF）120 SLPM。
• 高洁净度装配和包装，适用于半导体/高纯度应用。
• 所有产品在出厂前均进行氦气泄漏测试。

技术数据
提供性能流量曲线、尺寸图和技术表以便性能评估和选型（参见产品页面的图片和数据表）。

产品尺寸
尺寸以毫米为单位，仅供参考，可能会更改。安装和接口请确认最新图纸。

规格

• 系列：JR1000
• 类型：单级减压调压器
• 流量范围：低至中等
• 阀体材料：SS 316L、SS 316L VAR
• 隔膜密封：金属对金属
• 内部表面：电解抛光（表面粗糙度可达 Ra 5 μin）
• 内部体积：小（减小死体积）
• 最大进口压力：可达 3500 psig
• 流量系数（Cv）：0.09 和 0.15
• 最大流量：标准 30 SLPM；高流量（HF）120 SLPM
• 洁净度：适用于半导体/高纯度应用的高洁净装配和包装
• 质量控制：每台产品在出厂前进行氦气泄漏测试