气体压力调节器 JR1000

隔膜单级316L不锈钢

减压阀 JR1000 系列（单级）316L VIM VAR 不锈钢 — 电解抛光、金属对金属隔膜

产品概述与用途
Jewellok JR1000 系列为单级气体减压阀，设计用于将高压气瓶压力降低至适用于半导体及光伏制造中攻击性、毒性及腐蚀性特殊气体（如 HCl、Cl2、NH3）的受控工作压力。适用于要求气密性、低内部体积及优良化学耐受性的超高纯度工艺场景。

核心技术特性

• VIM VAR 金属组织：采用双熔炼 SS 316L VAR 锻造，最大程度减少夹杂，提高对化学腐蚀及氢脆的抗性。
• 电解抛光湿润通路：内部湿润表面电解抛光，典型 Ra <5 μin，以减少微小滞留水分点并降低逸出气体。
• 连动金属隔膜：隔膜与阀芯机械连动，即使盐类或颗粒导致卡滞仍可实现正向切断，防止下游超压。
• 金属对金属气密密封：本体密封可保持氦泄漏率 < 1×10-9 atm·cc/s，防止湿气和氧气进入工艺流。

安装与运行指南
在经认证的洁净室环境中打开双重密封包装并操作。采用标准集成 VCR 面密封连接并使用新的金属垫片安装。引入腐蚀性或有毒介质前进行完整的氮气置换循环，并用适当的检漏气体验证密封。执行计划化的检查与维护以监控压力稳定性并延长使用寿命。

JR1000 系列
为低至中等流量应用设计的单级调压器，适用于需要化学相容性与易清洁性的场合。

产品特性

• 阀体材料：SS 316L 或 SS 316L VAR（VIM VAR 双熔炼）
• 连动金属对金属隔膜密封
• 电解抛光湿润表面，典型 Ra <5 μin
• 最小化内部体积以加速置换
• 最大入口压力：最高可达 3500 psig
• 流量系数 (Cv)：0.09 与 0.15
• 最大流量（标准）：30 SLPM；高流量（HF）：120 SLPM
• 高洁净度装配与洁净室包装
• 每台出厂前进行氦泄漏检测
• 标准集成 VCR 面密封连接（使用新金属垫片）

技术数据
金属对金属气密密封实现氦泄漏率 < 1×10-9 atm·cc/s；电解抛光湿润表面 <5 μin Ra；提供 Cv 选项及已发布的流量曲线供选型。安装与选型请参考所提供的尺寸图和流量曲线。

技术规格

• 型号/系列：JR1000 Series（单级）
• 阀体材料：SS 316L 或 SS 316L VAR（VIM VAR，双熔炼）
• 隔膜密封：连动金属对金属隔膜设计
• 表面光洁度（湿润通路）：电解抛光，典型 Ra <5 μin
• 气密泄漏完整性：< 1×10-9 atm·cc/s（氦）
• 最大入口压力：最高可达 3500 psig
• 流量系数 (Cv)：0.09 与 0.15
• 最大流量：标准 30 SLPM；高流量 120 SLPM
• 内部体积：最小化以实现快速置换
• 适用介质：攻击性、毒性和腐蚀性特殊气体（例如 HCl、Cl2、NH3）
• 测试：氦泄漏测试；高洁净度装配与洁净室包装
• 连接：标准集成 VCR 面密封连接（使用新金属垫片）