气体压力调节器 JR1300

隔膜单级316L不锈钢

超高纯度气体阀 JR1300 系列 单级调压器 — 为先进光伏产线提供洁净室认证

核心概述
采购洁净室认证的超高纯度气体阀是先进光伏制造线（TOPCon、HJT）的关键环节。此类阀门支持化学气相沉积（CVD）及特殊气体分配，确保流体通道自安装起即无颗粒、无水分及无碳氢化合物污染。

主要技术优势

• 污染防护：洁净室装配，去离子水清洗，超纯氮气烘干，双袋包装，能在安装前去除尘粒、环境水分和碳氢化合物。
• 先进冶金：阀体采用二次真空熔炼不锈钢（SS316L / SS316L VAR）锻造制成，以减少脱气并抵抗如氨气、硅烷等侵蚀性工艺气体。
• 零死区体积：优化内部结构避免气体滞留腔室，实现快速置换和稳定的工艺切换。
• 气密封闭：金属对金属隔膜密封，氦泄漏率低于 1×10-9 atm cc/sec，提供防止氧渗入的气密屏障。

对产能的战略影响
采用洁净室认证的超高纯度设备可减少意外检修，保护电池少数载流子寿命，支持不间断 24/7 运行，从而最大化组件功率输出并降低总拥有成本。

JR1300 系列 单级调压器
适用于低至中等流量应用。

产品特性

• 阀体材料：SS 316L、SS 316L VAR。
• 金属对金属隔膜密封。
• 内部电解抛光，湿润面表面粗糙度可达 Ra 5 μin。
• 内部容积小，优化以实现快速置换。
• 最大进口压力：600 psig。
• 流量系数（Cv）：1.1。
• 最大流量：1000 SLPM。
• 高洁净度的装配与包装流程；每件产品出厂前均进行氦检漏测试。

技术数据
JR1300 系列提供产品图纸、尺寸参考、流量曲线和订购表（尺寸以毫米为准，仅供参考）。

技术规格

• 装配：洁净室装配、去离子水清洗、超纯氮气烘干、双袋包装。
• 材料：二次真空熔炼不锈钢；提供 SS316L 与 SS316L VAR 版本。
• 密封：金属对金属隔膜（气密）。
• 氦泄漏率：< 1×10-9 atm cc/sec。
• 内部光洁度：湿润表面电解抛光至 Ra 5 μin。
• 内部容积：优化实现零/极低死区体积以便快速置换。
• 最大进口压力：600 psig。
• 流量系数（Cv）：1.1。
• 最大流量：1000 SLPM。
• 预期应用：用于先进光伏（TOPCon、HJT）制造线的化学气相沉积（CVD）与特殊气体分配。
• 测试：每台设备出厂前均做氦检漏测试。