橱柜式炉 LP氧化
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产品规格型号
- 配置
- 橱柜式
- 功能
- 氧化
产品介绍
是一种去除边缘隔离(Edge isolation)及PSG后,在硅片表面形成钝化层 (passivation)膜,提升组效率的设备。
规格
高产量: 14,400 wafers/hr (2,400 wafers/boat)
循环时间：60 min
运行时间：99%
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