自动涂覆机 T-AlOx (AlOx + SiNx)

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产品规格型号

技术参数
自动

产品介绍

是一种将旨在提高结晶质太阳能电池的效率,改善wafer背面重组率,将穿透wafer背面的光最小化,增加反射的AIOx和SiNx层,在一次工序中形成的设备。 规格 高产量: 5,485 wafers/hr (640 wafers/boat) 循环时间: 42 min 运行时间: 97%

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