镀膜机 T-aSi (Oxidation + a-Si)
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产品介绍
是一种改善结晶质太阳能电池的wafer背面接触部的重组率，使电子选择性捕集的OXide层和加填料Si层在一次工序中形成，提高太阳能电池效率的设备。
规格
高产量: 4,702 wafers/hr (640 wafers/boat)
循环时间: 49 min
运行时间: 97%
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