自动涂覆机 PECVD (SiNx)
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产品规格型号
- 技术参数
- 自动
产品介绍
是一种旨在提高结晶质太阳能电池效率，最大限度降低反射在wafer前面上的光，形成抗反射涂层(Anti-Reflective SiNx)的设备。
规格
高产量: 6,776 wafers/hr (640 wafers/boat)
循环时间: 34 min
运行时间: 97%
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