晶圆用测量系统 MicroProf® FS

FRT MicroProf® FS是一个全自动的晶圆计量工具，可以使用标准和定制的解决方案，为晶圆代工厂的各种应用进行配置。 当涉及到当今硅片代工应用的计量解决方案时，灵活性和通用性是关键词。MicroProf FS提供了一个模块化的方法来创建一个完全自动化的多传感器工具，可以解决所有需要的测量任务。这就是为什么我们称它为代工之星! 对于它的核心计量部件，经过验证的FRT MicroProf 300多传感器计量工具被用来实现对不同产品的测量，并且--通过使用混合计量概念--增强了对单一传感器或测量原理根本不够的样品的测量精度。MicroProf FS的测量系统配备了一个花岗岩底座设置，有一个三点式样品夹具或一个真空卡盘。