Stylus Nano Profiler NS200 是一种超精密接触式测量仪器,用于测量表面粗糙度和微观轮廓,如微纳阶梯高度、薄膜厚度等。NS200 采用了分辨率达亚埃级的位移传感器、超低噪声信号采集、超精细运动控制和校准算法技术,性能卓越。其接触力极小,对测量表面反射特性、材料类型和材料硬度没有特殊要求,因此广泛应用于半导体和化合物半导体、高亮度 LED、太阳能、MEMS 微机电系统、触摸屏、汽车和医疗设备等行业的微观表面测量。
应用领域
半导体-大型基板-玻璃基板和柔性组件上的显示薄膜
半导体
沉积薄膜的阶梯高度
薄膜电阻的阶梯高度
蚀刻速率测量
化学机械抛光(腐蚀、点蚀、弯曲)
大型基底
PCB 突出、台阶高度
窗口涂层
晶片掩膜
晶片卡盘涂层
抛光板
玻璃基板和显示屏
AMOLED
液晶屏开发过程中的台阶高度测量
触摸屏薄膜厚度测量 太阳能涂层薄膜测量
柔性组件上的薄膜
有机光电探测器
印在薄膜和玻璃上的有机薄膜 触摸屏铜迹
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