数字显微镜 VT series

计量学台式LED 照明

VT6000系列共聚焦显微镜是一款用于测量各种精密器件和材料的微纳米级表面的仪器。它以共焦技术为原理，结合精密Z轴扫描模块和三维建模算法，对器件表面进行非接触扫描，建立三维表面图像。通过系统软件，对器件表面的三维图像进行数据处理和分析，得到反映器件表面质量的二维和三维参数。从而实现对器件表面形貌进行三维测量的光学检测仪器。它可以测量从光滑到粗糙、从低反射率到高反射率的各种表面，以及从纳米到微米的工件粗糙度、平面度、微观几何轮廓和曲率等，并根据ISO/ASME/EUR/GBT四个国内外标准提供300多种二维和三维参数作为评价标准。