Physik Instrumente/德国PI压电位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA® 压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA® 压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 ...

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量 ...

运行行程: 100, 200 µm

... 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字 压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...

... 亚毫秒级响应时间 - 闭环版本可提高线性度 - 出色的温度稳定性 应用领域 - 图像处理/稳定 - 光学捕捉 - 大偏转角激光扫描/光束转向 - 激光调谐 - 光学滤波器/开关 - 光学器件 - 光束稳定 采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨免维护、无摩擦、无磨损、 ...

运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm

... 轴的位置由编码器和光学基准开关测量，可实现可靠的重复运动。 压电电机的驱动原理及其电气操作成本低廉，并且可以定制。 PILine® 超声波 压电电机 PILine® 超声波 压电电机的一个组成部分是一个 压电致动器，该致动器通过一个耦合元件预载到一个可移动的导轨流道上。 压电陶瓷致动器在 100 至 200 kHz 的高频交流电压激励下产生超声波振荡。致动器的变形导致耦合元件相对于转轮的周期性对角运动。每周期产生的进给量为几纳米；高频率导致高速度。 压电陶瓷致动器对转轮的预紧确保了驱动装置在静止和关闭时的自锁 ...

运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm

... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的 压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个 压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 ...

运行行程: 32 mm

... 毫米，高度仅 8 毫米 - 使用增量式编码器进行直接位置测量，分辨率为 0.75 µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的 压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个 压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 ...