Physik Instrumente/德国PI旋转位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 ...

运行行程: 32 mm

... - 宽度仅 32 毫米，高度仅 8 毫米 - 使用增量式编码器进行直接位置测量，分辨率为 0.75 µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 ...

... 运动平台直径 低轮廓 偏心率和平面度 < 100 nm 可通过磁性预紧力在静止时自锁 产品概览 PIglide RL 系列的直接驱动低剖面 旋转平台采用低剖面设计，具有最高精度。各种选件可组合成点对点分度或匀速扫描的理想解决方案。RL 平台具有卓越的行程精度、平面度和摆动性能。 三相扭矩电机 无刷 无槽 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在启动过程中无需参考，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 真空馈入件 ...

... 无刷电机和步进电机 方向感应基准开关 可提供真空兼容型 基准级 旋转平台 采用低游隙预载蜗轮，实现高精度定位。预载枢轴轴承实现高跳动精度。35 mm 直径的透明孔。 两个 旋转方向的行程范围不受限制。非接触式基准开关。可与 L-511 线性平台和 L-310 Z 平台配合使用的紧凑型多轴定位系统。可根据要求提供真空兼容型产品。 型号 低振动步进电机 带 ActiveDrive 的直流电机 直流伺服电机 无刷直流电机 附加高分辨率光学 角度测量系统，直接测量 选项：测量跳动精度和定位精度 可根据要求提供摇摆 ...

... - 运动平台直径 365 毫米，光圈直径 260 毫米 - 偏心率和平面度 < 300 nm 产品概览 PIglide RLA 系列直接驱动 旋转平台专为超高精度而设计。它们外形小巧，具有较大的通孔。RLA 平台具有出色的行程精度、平面度和摆动性能。 三相扭矩电机 无刷 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。因此，开启时无需参照，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 PIglide ...

... 真空兼容度高达 10-7 hPa 无限行程范围 重复性达 87 µrad 20 毫米直径孔径 基准开关 标准级 旋转平台 蜗杆驱动。孔径 20 毫米。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，在导轨和主轴的润滑方面，使用了放气量特别低的材料。因此，烘烤温度最高可达 80°C。 用于高真空环境的更高质量 在这种情况下，需要使用适用于高真空的特殊部件，如电机、测量系统和限位开关。此外，表面由未涂层的铝制成，主轴和导轨由不锈钢制成。这样就达到了 PI ...

运行行程: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
重复精度: 0.25 mm

... θX、θY 旋转范围为 ±1° 平台直径 250 毫米 总高度 60 毫米 产品概览 A-523 是带直接驱动的空气轴承 Z 尖端/倾斜平台。该平台设计为平行运动多轴系统，可用于 Z 和尖端/倾斜运动。该平台采用微型结构，具有超高精度。非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有一流的性能、质量和使用寿命。 在订购 A-523 和 A-81x 或 A-82x 系列控制器的同时，PI 还会对 Z 平台进行配置和布线，并在施加负载的情况下进行伺服调整优化。您将获得一个完整的、随时可用的定位系统 ...