Physik Instrumente/德国PI机动位移台

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... - 与 电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 ...

运行行程: 100, 200 µm

... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...

... - 分辨率高达 20 nrad，位置稳定性极佳 - 光束偏转达 4 mrad - 各种不同的材料，用于调整平台和反射镜之间的 CTE - 平行运动学，可实现更高的精度和动态性能 - 亚毫秒级响应时间 - 闭环版本可提高线性度 - 出色的温度稳定性 应用领域 - 图像处理/稳定 - 光学捕捉 - 大偏转角激光扫描/光束转向 - 激光调谐 - 光学滤波器/开关 - 光学器件 - 光束稳定 采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...

运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 集成线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...

运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm

... 这些 电机在较大的转速范围内具有高定位精度和高过载能力。高扭矩和低惯性确保了驱动器的高动态性能。这些 电机的使用寿命长、性能高、坚固耐用，在工业自动化应用中效果极佳。 步进 电机 功率大、振动小的两相步进 电机即使在没有位置控制的情况下也能实现精确定位。 选项 步进 电机或同步伺服 电机 保持制动器 旋转编码器，增量式或绝对测量式 折叠式传动系统，可减少总长度 可选附件L-812.TT1 ...

运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm

... 采用折叠式驱动，结构非常紧凑 闭环直流 电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。 驱动装置 闭环直流减速 电机 间隙补偿螺纹主轴 位置测量 电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 ...

运行行程: 32 mm

... µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动 电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 45 °/s 的速度，工作频率最高可达 1.5 kHz。45 ...

运行行程: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
重复精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm

... 交叉滚柱导轨实现高负载能力和高几何性能 可选择铁芯和无铁芯三相直线 电机 带直线 电机和超扁平设计的紧凑型直线运动平台 V-508 系列高精度直线 电机平台采用超小型封装，具有高速度和高精度。这些闭环 电动纳米定位平台非常适合高动态 24/7 工业自动化应用，其设计理念以可靠性为中心 - 高性能轴承、零摩擦线性 电机、非接触式光学位置传感器和经过 ...

运行行程: 102 mm - 407 mm
速度: 0.3 m/s
重复精度: 1 µm

... 功能强大的线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能同步伺服 电机、重型循环滚珠轴承导轨以及精密旋转和线性编码器可在高负载条件下实现连续可靠的运行。可选的保持制动器可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保高可靠性和长使用寿命。也可以集成到客户的中央润滑系统中。侧面的覆盖条和净化空气接头可防止颗粒污染。 开创性设计 L-417 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。 电机的高分辨率提高了跟踪性能，减小了跟踪误差，缩短了稳定时间。 选项 保持制动器 ...

运行行程: 25, 5, 15 mm
速度: 1.5, 2, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 0.15, 2 µm

... 由于采用折叠式驱动，结构非常紧凑 步进 电机和闭环直流 电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 设置 可快速大量供货 可提供适用于真空环境的型号 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带传动直线运动平台，结构紧凑。可直接安装 XY 装置，无需转接板。 驱动装置 两相步进 电机或闭环直流减速 电机 间隙补偿螺纹主轴或滚珠丝杠 位置测量 带直流减速 电机的变型： 电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 应用领域 精密微型装配。研究。激光刻蚀自动化光学对准 ...