Physik Instrumente/德国PI多轴位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快， 多 轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 ...

... 。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨免维护、无摩擦、无磨损、无需润滑。其刚度大，承载能力强，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 通过平行运动学实现高动态多 轴运行 在并联运动学多 轴系统中，所有执行器都作用在一个共同的平台上。最小的质量惯性和所有 轴的相同设计实现了快速、动态和高精度运动。 用于调整反射镜和平台 CTE 的材料选项 建议使用以下材料组合来调整热膨胀系数： ...

... 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在启动过程中无需参考，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 真空馈入件 静止时通过磁性预紧力自锁 根据要求提供透明孔 PIglide 过滤器和空气准备套件 单 轴或多 轴运动控制器和伺服驱动器 多 轴/定制设置 花岗岩底板和减震系统 应用领域 光学对准、晶片检测、晶片对准、测量技术、检测系统、校准、扫描。 由于无摩擦运动，不会产生微粒，因此 ...

... 直径的透明孔。 两个旋转方向的行程范围不受限制。非接触式基准开关。可与 L-511 线性平台和 L-310 Z 平台配合使用的紧凑型多 轴定位系统。可根据要求提供真空兼容型产品。 型号 低振动步进电机 带 ActiveDrive 的直流电机 直流伺服电机 无刷直流电机 附加高分辨率光学角度测量系统，直接测量 选项：测量跳动精度和定位精度 可根据要求提供摇摆、 轴向和径向蠕变的单独测量记录。请在订购时说明。 应用领域 医疗行业。样品检测。精密微组装。测量技术光子学真空技术 ...

... 三相扭矩电机 无刷 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。因此，开启时无需参照，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 PIglide 过滤器和空气准备套件 单 轴或多 轴运动控制器和伺服驱动器 多 轴/定制设置 花岗岩底板和减震系统 应用领域 断层扫描、光束线系统、晶片计量、晶片检测、测量技术、检测系统、校准、扫描。 由于无摩擦运动，不会产生微粒，因此 ...

重复精度: 1 µm
载荷: 4 kg

... 该平台占地面积小，但精度极高。非接触式组件的组合实现了无摩擦运动，具有出色的动态性能、纳米级定位精度和超长的使用寿命。 为建立 XYZ 系统，A-143 提供垂直安装选项，包括制动器和平衡器。 附件和选件 PIglide 过滤器和空气准备套件 单 轴和多 轴运动控制器 带制动器和气动平衡的型号，用于垂直安装 应用领域 该平台非常适合许多高精度和高动态应用，如计量、检测、光纤定位、光学定位、扫描和图案化。线性平台采用非接触式设计，无需润滑，电缆连接牢固，是洁净室和医疗技术应用的理想之选。 ...

运行行程: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
重复精度: 0.1 µm

... mm × 200 mm - 负载能力达 100 N PIglide 定位系统配有磁性直线电机、磁性预载空气轴承和光学直线光栅：无接触、无摩擦运动，实现最高精度和可靠性 附件和选件 - 编码器 - PIglide 过滤器和空气准备套件 - 单 轴和多 轴运动控制器 - XY 设置和单独配置 - 花岗岩底板和减震系统 应用领域 PIglide 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此 ...

运行行程: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
重复精度: 0.25 µm

... 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度。预载空气轴承结构支持任何方向的安装。 附件和选件 编码器 PIglide 过滤器和空气准备套件 多 轴运动控制器和直接驱动装置 XY 设置和单独配置 电缆轨道变化 用于垂直装配的平衡选项 花岗岩底板和减震系统 应用领域 PIglide 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒 ...

运行行程: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
重复精度: 0.25 mm

... θX、θY 旋转范围为 ±1° 平台直径 250 毫米 总高度 60 毫米 产品概览 A-523 是带直接驱动的空气轴承 Z 尖端/倾斜平台。该平台设计为平行运动多 轴系统，可用于 Z 和尖端/倾斜运动。该平台采用微型结构，具有超高精度。非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有一流的性能、质量和使用寿命。 在订购 A-523 和 A-81x 或 A-82x 系列控制器的同时，PI 还会对 Z 平台进行配置和布线，并在施加负载的情况下进行伺服调整优化。您将获得一个完整的、随时可用的定位系统 ...