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... Tencor P-7 探针 式轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式 探针 式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越 测量性能，为台式 探针 式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7 探针 式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D 测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。 特征 台阶高度：纳米级到1000微米 恒定力控制：0.03至15mg 样品的全直径扫描，无需拼接 视频：5MP高分辨率彩色相机 弧形校正：可消除 探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 ...
KLA Corporation
... Tencor P-17是第八代台式 探针 式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D) 测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。 出色的 测量稳定性通过结合UltraLite® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor ...
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... 可快速轻松地设置程式。Tencor P-170支持2D或3D 测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来 测量表面形貌。全自动 测量是通过自动晶圆处理、图形识别、排序和特征检测实现的。 特征 台阶高度：纳米级到1000微米 恒定力控制：0.03至15mg 样品的全直径扫描，无需拼接 视频：5MP高分辨率彩色相机 弧形校正：可消除 探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 生产能力：全自动 测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能 晶圆传输机械手臂：自动加载直径为75毫米到200 ...
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... 是一款高分辨率cassette-to-cassette 探针 式轮廓仪。HRP的性能经过生产验证，能够进行自动化晶圆装卸、可为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储和相关行业提供服务。P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的二维及三维 测量，其扫描深度可达200mm而无需图像拼接。 HRP-260配置的功能与P-260相同，并增加了能够对小特征进行高分辨率和高产量 测量的高分辨率平台。 HRP-260的双平台功能可以进行纳米和微米表面形貌的 测量。 ...
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... Alpha-Step D-600 探针 式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D 测量，以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直 测量范围和微力控制 测量能力。 探针接触式 测量技术的优点是可以进行接触式直接 测量，与材料特性无关。多种力度调节和 探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确 测量。该 探针 测量选项能够对您的工艺进行量化，以确定添加或去除的材料量，并通过 测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。 功能 台阶高度：纳米级到 ...
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... Alpha-Step D-500 探针 式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率 测量，大垂直范围和低触力 测量功能。 探针 测量技术的一个优点是它是一种直接 测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及 探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确 测量。 ...
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