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运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm
... - 与 电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 ...
Physik Instrumente
运行行程: 100, 200 µm
... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...
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... - 分辨率高达 20 nrad，位置稳定性极佳 - 光束偏转达 4 mrad - 各种不同的材料，用于调整平台和反射镜之间的 CTE - 平行运动学，可实现更高的精度和动态性能 - 亚毫秒级响应时间 - 闭环版本可提高线性度 - 出色的温度稳定性 应用领域 - 图像处理/稳定 - 光学捕捉 - 大偏转角激光扫描/光束转向 - 激光调谐 - 光学滤波器/开关 - 光学器件 - 光束稳定 采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...
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运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 集成线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...
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运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm
... 这些 电机在较大的转速范围内具有高定位精度和高过载能力。高扭矩和低惯性确保了驱动器的高动态性能。这些 电机的使用寿命长、性能高、坚固耐用，在工业自动化应用中效果极佳。 步进 电机 功率大、振动小的两相步进 电机即使在没有位置控制的情况下也能实现精确定位。 选项 步进 电机或同步伺服 电机 保持制动器 旋转编码器，增量式或绝对测量式 折叠式传动系统，可减少总长度 可选附件L-812.TT1 ...
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运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm
... 采用折叠式驱动，结构非常紧凑 闭环直流 电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。 驱动装置 闭环直流减速 电机 间隙补偿螺纹主轴 位置测量 电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 ...
Physik Instrumente
运行行程: 32 mm
... µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动 电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 45 °/s 的速度，工作频率最高可达 1.5 kHz。45 ...
Physik Instrumente
运行行程: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
重复精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... 交叉滚柱导轨实现高负载能力和高几何性能 可选择铁芯和无铁芯三相直线 电机 带直线 电机和超扁平设计的紧凑型直线运动平台 V-508 系列高精度直线 电机平台采用超小型封装，具有高速度和高精度。这些闭环 电动纳米定位平台非常适合高动态 24/7 工业自动化应用，其设计理念以可靠性为中心 - 高性能轴承、零摩擦线性 电机、非接触式光学位置传感器和经过 ...
Physik Instrumente
运行行程: 102 mm - 407 mm
速度: 0.3 m/s
重复精度: 1 µm
... 功能强大的线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能同步伺服 电机、重型循环滚珠轴承导轨以及精密旋转和线性编码器可在高负载条件下实现连续可靠的运行。可选的保持制动器可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保高可靠性和长使用寿命。也可以集成到客户的中央润滑系统中。侧面的覆盖条和净化空气接头可防止颗粒污染。 开创性设计 L-417 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。 电机的高分辨率提高了跟踪性能，减小了跟踪误差，缩短了稳定时间。 选项 保持制动器 ...
Physik Instrumente
运行行程: 25, 5, 15 mm
速度: 1.5, 2, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 0.15, 2 µm
... 由于采用折叠式驱动，结构非常紧凑 步进 电机和闭环直流 电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 设置 可快速大量供货 可提供适用于真空环境的型号 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带传动直线运动平台，结构紧凑。可直接安装 XY 装置，无需转接板。 驱动装置 两相步进 电机或闭环直流减速 电机 间隙补偿螺纹主轴或滚珠丝杠 位置测量 带直流减速 电机的变型： 电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 应用领域 精密微型装配。研究。激光刻蚀自动化光学对准 ...
Physik Instrumente
运行行程: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
重复精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... 它还适用于后端光刻机（光罩校准器）和某些晶片切割应用。 METIS 性能可靠，是先进半导体和光 电子应用的必备工具。 特点 METIS 结合了机械和空气轴承技术，具有极高的精度和灵活性。 METIS 可在 X、Y、Z 和 Theta 轴上移动，是步进和扫描应用的理想选择。 该平台在整个行程范围内具有高动态平面度和高双向重复性。 METIS 可用于晶圆制程控制、晶圆划线和激光热退火。 该平台可为先进的半导体和光 电子应用提供可靠的性能。 METIS ...
运行行程: max 100.0 µm
... 特点： 三轴转换系统和双轴倾斜系统的组合 直径 17 mm 的自由中心孔 集成预载荷 转换每个轴：高达 100 µm 每个方向倾斜：± 2 mrad 固态弯曲铰链，采用平行边形设计，无需机械 玩 选项：集成测量系统 光学级通常需要一个开放的中央空间（例如用于通过光）。 对于这些应用，PENTOR 翻译和倾斜系统采用一个 17 mm 自由中心孔。 它提供 100 µm 的 x、y 和 z 方向的运动，并在两个正交轴 (j, q) 上倾斜 ± 2 mrad。 用于三个平移轴的柔性铰链保证在这个舞台的行驶范围内实现最高程度的并行性。 ...
piezosystem jena GmbH
运行行程: 150, 72 mm
速度: 150, 160 mm/s
... 概念。 由piezosystem jena提供的SCANIUStwo是为长行程的样品定位而设计的，同时保持了我们的高精度标准。通过这个新的双轴平台，piezosystem jena为您提供了一个更好、更优雅的解决方案来处理您的样品或物体。高分辨率和简易集成的结合使这个系统成为各种应用的理想选择。 ...
piezosystem jena GmbH
运行行程: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 用于倒置研究显微镜的直线 电机技术的 HLD117 系列平板顶级为便利性和性能树立了新的标准。 设计用于与微操纵器和孵化室等其他物品无缝集成，舞台的顶部表面完全没有阻塞。 这提供了一个高度符合人体工程学的平台，非常容易地进入样品区域。 HLD117 采用恒定接触轴承，可提供最低摩擦和最平滑的驱动。 HLD117 提供： 超安静操作， 你能听到吗？ 我们也不能！ 即使在高速（高达 300 mm/sec）下，直线直流伺服 电机几乎无声。 ...
Prior Scientific
运行行程: 108 mm
速度: 0.02 m/s
HT1111LC ProScan™实体框架载物台适用于正置显微镜和硬度测试仪。HT1111LC的行程范围为108 mm x108 mm，重复精度为0.7μm，载重能力可达100公斤，与Prior Scientific ProScan控制器联用时的分辨率为20纳米
Prior Scientific
运行行程: 65 mm
速度: 0.01 m/s
... Prior的高精度 电动ZDeck快速调节平台系统包括Prior Zdeck、 电动ProScan XY载物台、ProScan III控制器、带双数字控制器的PS3J100操纵杆、通用支架、实心铝板、两个显微操作器安装座、聚光器垫片和四个10mm柱形垫片。Prior Scientific正在申请专利的ZDeck快速调整平台使用户可以快速而准确地对多个感兴趣区域进行成像，从而大大提高效率。 ...
Prior Scientific
运行行程: 154 mm
速度: 0.02 m/s
H105-F是精密设计的ProScan®载物台之一，适用于大多数正置显微镜。它具有较大的行程范围，可以容纳半导体晶圆、光掩膜和印刷电路板等大型样品，使其成为材料科学应用的理想选择。可替换的样品架使得该滑块可用于各种应用。H105N2F具有高分辨率和出色的重复性，是高端材料科学应用的理想选择。
Prior Scientific
运行行程: 114, 75 mm
速度: 0.04, 0.02, 0.1, 0.05 m/s
H117载物台系列采用完全平坦的顶部设计以方便使用，并搭载了智能扫描技术（IST）。IST结合了大量的测试，可针对特定载物台进行具有一系列独特操作特性的预先编程，以确保其最佳性能。IST允许ProScan™III控制器进行任何必要的调整，以保持卓越的正交性和度量精度。
Prior Scientific
运行行程: 80 mm - 120 mm
速度: 40 mm/s - 100 mm/s
重复精度: 0.2 µm - 0.7 µm
... Prior Scientific推出了新款最具创新性的H101F 电动平顶载物台，适用于正置显微镜。新型ProScan H101F的显著优势之一在于其完全平坦的顶板设计，可为物镜和换镜旋座的旋转提供无障碍空间。超低剖面样品架便于使用高数值孔径（NA）物镜/聚光器，而最新的小型高扭矩马达则便于进行聚光器和其他显微镜调整。较大的样品架区域设计能够适应各种应用，如大型组织切片以及其他定制的样品架。可选的嵌入式高分辨率XY编码器可提供最高的精度。 H101F采用更小尺寸的载物台电缆，从而简化了电缆的布线 ...
Prior Scientific
运行行程: 71 mm - 240 mm
重复精度: 1 µm
载荷: 0 kg - 10 kg
... H138A载物台大大提高您的工作效率，最多可同时装载8个75mm x 25 mm显微镜载玻片。用于正置显微镜的H138A载物台搭载了智能扫描技术（IST）（H101，H107和H117型号也采用此技术）。IST结合了大量的测试，可针对特定载物台进行具有一系列独特操作特性的预先编程，以确保其最佳性能。同时，IST允许ProScan™III控制器进行任何必要的调整，以保持卓越的正交性和度量精度。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1um甚至更高的重复精度 • 安静、可靠 • 240mm的 ...
Prior Scientific
运行行程: 302 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 0.7 µm
... H112载物台非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。H112可轻松容纳12英寸（300毫米）晶圆，并可与各种晶圆装载机械臂配合使用。另外，H112可用于250 mm x 250 mm透射区域的透射光应用。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 可选的100nm线性标尺可提供最高的分辨率。 • 多种晶圆支架 • 302毫米x 302毫米（12″x12″）行程 ...
Prior Scientific
运行行程: 77 mm - 115 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 5 µm
... 用于倒置显微镜的ES107 OptiScan载物台具有最佳的性价比。ES107的设计旨在利用Prior的H107 ProScan系列样品架，以检测最广泛的样本类型，包括载玻片、多孔板、培养皿和抛光冶金样本。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 5μm甚至更佳的重复性 • 经济且强大 • 多种样品架。 ...
Prior Scientific
运行行程: 215 mm - 256 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 2 µm
... H116载物台适用于大多数大型显微镜，并且可以轻松容纳8英寸（200毫米）的晶圆和各种大型标本，非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 安静、可靠 • 多种晶圆支架。 • 255mm x 215mm（10“x8.5”）行程 ...
Prior Scientific
