机动纳米定位平台

运行行程: 100 µm
载荷: 21 g

... 平行运动设计可在所有空间方向上实现最高刚度 高共振频率带来高动态运动，即使负载高达 100 g 也不例外 创新的产品设计，采用单一安装平台，使用灵活。 市场上唯一具有 ID 芯片功能的纳米定位器 市场上体积最小、重量最轻的 NanoCube®，行程范围为 100 µm 应用领域 光纤定位和对准 扫描显微镜 双光子聚合 纳米技术和纳米制造 光子学/集成光学 微操作 样品定位 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...

运行行程: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动，所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能，使它们可以用于动态过程（如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描）。 •亚纳米压电定位分辨率 •在 X、XY 或 XYZ 中运动 •压电行程范围可达 400 µm •可选集成应变计，适用于闭环操作 •共振频率高，适用于高动态应用 •真空版本 亚纳米定位分辨率 NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 0.2 nm，因此可以进行超精细调节，且该分辨率仅受限于控制器件的噪声。 大范围的压电行程 针对高占空比的循环操作，NPX ...

运行行程: max 16.0 µm

... 压电系统 Jena 的 PXY 系列是一个 XY 纳米定位级，用于将压电致动器分解成柔性铰链系统。 通过这些组件，该装置能够在具有纳米精度的动态条件下工作。 它配备了每轴约 700 微米的旅行范围。 此外，它还配备了集成的反馈控制，旨在实现长期稳定性和亚纳米精度。 该工具是特殊应用的理想选择，如光学、光纤定位、激光技术、二维扫描运动、自动化和遥导系统。 此外，它具有一种施工原理，可实现高分辨率应用，远远超出机械和机电定位系统的要求。 它很容易安装在所有类型的定位系统。 ...

运行行程: 1 mm

... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 纳 米典型刚度：0.4 ...

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...

运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径：80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台（如DT155）结合，用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1（根据要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内具有最高的稳定性，即使在干燥的操作中也是如此 带透射光孔的定位系统由两个LT300直线平台组合而成，形成一个精确的重型XY平台，适用于高真空、超高真空和极端紫外线辐射下的应用。该系统的运行完全不需要润滑剂。它的交叉滚子导轨和导螺杆的概念使其在纳米范围内具有极高的稳定性。另外，该系统还可以设计成带润滑的滚珠丝杠驱动，以获得更高的速度。 应用的领域 重物的精密定位，超高真空和极端紫外线辐射下的研究，样品制备，样品扫描，样品处理，生物芯片，相机对准，材料研究，材料分析，光束线，加速器，同步加速器 ...