Z轴纳米定位平台 Model ZSA-1000C

立式压电单轴

帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 纳 米典型刚度：0.4 N/微米± 10% • 线性度：0.12% 典型 • 跳动（超声）：<100 微弧度（典型值） • 未负载谐振器磁性：200 Hz ± 10% • 共振自由度 @100 克:150 赫兹 ± 10% • 推/拉力能力:75/150 N 最大 • 负载能力:75 N 最大 • 侧向力:10 N 最大 • 电容:30 微法兰德 ± 10% • 宽 x 长度:62.5 x 125 毫米 • 高度:25.1 ± 0.1 毫米 • 质量:1 千克 ± 10% • 材料:不锈钢 • 电缆长度:1.5 米 ZSA-1000C 的结构易于使用各种位移传感器，包括电容式探头（标准），实现真正的纳米定位运动控制能力。 帝斯曼的 SA-500 伺服放大器提供独立闭环控制，具有串行通信、模拟或数字反馈以及数字 I/O，提供额外的控制和通信功能。