Z轴纳米定位平台

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线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
ANT95-L-Z series

运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s

... 设计特点 • 大行驶格式纳米性能(25 毫米和 50 毫米) • 高分辨率(2 nm)、重复性(75 nm)和精度(300 nm) • 在位稳定性 <2 nm • 抗蠕变交叉滚子轴承 • 高动态性能 介绍 ANT95LZ 交叉滚子级是在结合速度、精度、分辨率、可重复性、可靠性和尺寸方面,提供两种精度等级。 非接触式直驱 仅非接触式直驱技术提供了大量生产精密器件所需的坚固、准确和高速定位。 ANT95LZ 级采用 Aerotech 先进的直接驱动技术,在高精度定位、磁盘驱动制造、光纤对准、光延迟元件驱动、传感器测试和扫描过程中实现最高水平的定位性能,这些要求平稳、精确议案。 ...

线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
NHH 200 series

运行行程: 30 mm
速度: 0 m/s

... 纳米混合电梯梯级 NHH 200 NHH 纳米混合电梯级专为需要高精度定位的应用而设计,可达 30 mm 的长行程范围。 主轴驱动的导向系统允许使用水平行程范围以及倒置应用在方向上进一步安装。 采用步进马达的主轴驱动机制确保了极高的负载能力和力矩。 压电执行器和高分辨率线性测量系统的集成进一步实现了精确定位,实现了非常高的精确度和精细的分辨率。 这使得新一代 OWIS 定位系统的电梯级完美适用于需要极高精度的应用,适用于非常高负载和长时间行程的应用,而通用的纳米定位系统无法提供这些应用。 ...

Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
P-725.xDD PIFOC series

运行行程: 18 µm

... 使用显微镜物镜在 5 ms 下最短的建立时间 行程 18 µm 以下分辨率的物体的精细定位,通过 平行柔性引导实现的最小目标偏移, 由于采用电容式传感器的直接测量技术, 具有最高线性度 应变片传感器 与 MetaMorph 成像软件兼容 PICMA® 压电致动器具有出色的使用寿命 QuickLock 适配器,易于安装 应用领域 超分辨率显微镜 光盘显 微镜共聚焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 Auto对焦系统 生物技术 半导体测试 亚纳米分辨率与电容式传感器 电容式传感器测量与亚纳米分辨率无需接触。 ...

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Physik Instrumente/德国PI
Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
P-612.Z series

运行行程: 100, 110 µm

... -行驶范围 100 µm -分辨率为 0.2 nm -线性误差 0.2 % -紧凑:占地面积 60 mm x 60 mm -极具成本效益的控制器/压电机械系统 -无摩擦、高精度柔性导向系统 -PICMA® 压电致动器具有出色的使用寿命 干涉 显微镜 纳米 生物技术的 测试程序和质量保证 半导体技术 由于零播放柔性导轨而具有高导轨精度 Flexure 导轨不受维护、摩擦和磨损,不需要润滑。 它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。 它们具有 100 % ...

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Physik Instrumente/德国PI
XYZ轴纳米定位平台
XYZ轴纳米定位平台
P-620.2, P-629.2 PIHera series

运行行程: 50 µm - 1,800 µm

... -行程范围 50 到 1800 µm -分辨率为 0.1 nm -定位精度 0.02% -使用电容式传感器直接测量 -X, XY, Z, XYZ 版本 由于 PICMA® 压电致动器具有出色的使用寿命。 专利的 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。 这可保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。 PICMA® 致动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘致动器长 10 倍。无一次故障可达 1000 亿次循环。 由于零播放柔性导轨,导轨精度高, 柔性导轨无需维护、摩擦和磨损,无需润滑。 ...

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Physik Instrumente/德国PI
Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
Model ZSA-1000C

运行行程: 1 mm

... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动,用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性,最小的滚动和倾斜以及动态响应,从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对,用于闭环控制,并采用高分辨率电容式探头,在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程:1050 微米 ± 10% • 闭环行程:1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率:20 ...