Z轴纳米定位平台

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线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
ANT95-L-Z series

运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s

... 我们的第二代ANT95LZ平台是专门为在垂直方向提供纳米级的运动和定位性能而设计的。用户可调节的超低摩擦气动平衡装置使它们在分辨率、精度、重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中最好的。它们令人印象深刻的动态能力和增强的承载能力,使ANT95LZ平台成为您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 设计特点 -增强的第二代设计 -实现最小增量运动至1纳米 - 新产品 -在长达50毫米的行程中提供纳米级的定位性能 -通过用户可调整的超低摩擦平衡装置,在垂直方向上实现了高达5公斤的有效载荷的精确性能。 -采用高精度交叉滚柱轴承,具有出色的动态性能和强大的负载能力 -采用无铁直接驱动的线性马达,最大限度地提高了工艺产量和可靠性 关键应用 ANT95LZ是需要高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择,包括。 -光电组装和检测 -光纤对准和优化 -光器件制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工与检测 -研究与实验室应用 ...

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Aerotech/美国Aerotech
Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
QNP-Z Series

运行行程: 100 µm - 600 µm

... QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑、高刚度的封装中提供纳米级的性能。各种行程(100微米到600微米)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准等应用的理想解决方案。 设计特点 -行程范围从100 µm到600 µm可供选择 -设备寿命长 -高精度、无摩擦的挠性引导系统 -更高的定位分辨率和线性度,直接测量电容式传感器选项可达到0.007%。 -与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容 -开环和真空版本 紧凑包装中的高质量 QNP压电平台由精密挠性体引导,通过有限元分析进行优化,以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率,实现了高的工艺产量和快速闭环响应。此外,这些平台的设计提供了出色的几何性能(直线度和角度误差),同时最大限度地减少了整个平台的封装尺寸。 高分辨率和定位精度 所有的QNP压电平台都可以选择使用独特的电容式传感器进行闭环反馈,从而实现亚纳米级的分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位小车的输出,实现了卓越的精度和可重复性。 ...

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Aerotech/美国Aerotech
线性纳米定位平台
线性纳米定位平台
SOM-808030

运行行程: 51, 16 mm
速度: 8 mm/s

... SOM-808030是SmarAct的显微镜平台中唯一提供垂直移动方向的。X和Y轴的移动范围为51毫米,Z轴为16毫米。该平台的尺寸为长和宽138毫米,高56毫米。由于SOM-808030是基于SmarAct的SLC系列线性平台,它提供最高的闭环重复性和纳米分辨率。 通过标准插入物的适配器,确保了与普通制造商的兼容性。显微镜平台的底板是与面包板兼容的。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 3.5/ ...

XY轴纳米定位平台
XY轴纳米定位平台
X-417 series

运行行程: 204 mm - 407 mm

... 有多种行程范围的组合可供选择。从204到407毫米。XY系统也可使用花岗岩板。在XYZ系统中,L-412高负荷线性平台作为Z轴使用,其行程范围为102mm,同步伺服电机,并有保持制动。XYZ系统也可使用花岗岩板作为底座;对于这些系统,用于将Z轴固定在花岗岩底座上的适配器支架也包括在交货范围内。 选项和附件 - 底座框架 - 用于花岗岩板的面包板组 - 适配器托架 - 用于XYZ系统的附加电缆组。X/Y轴的电缆长度为2米,Z轴为3米 - ...

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Physik Instrumente/德国PI
Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
P-725.xDD PIFOC series

运行行程: 18 µm

... 使用显微镜物镜在 5 ms 下最短的建立时间 行程 18 µm 以下分辨率的物体的精细定位,通过 平行柔性引导实现的最小目标偏移, 由于采用电容式传感器的直接测量技术, 具有最高线性度 应变片传感器 与 MetaMorph 成像软件兼容 PICMA® 压电致动器具有出色的使用寿命 QuickLock 适配器,易于安装 应用领域 超分辨率显微镜 光盘显 微镜共聚焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 Auto对焦系统 生物技术 半导体测试 亚纳米分辨率与电容式传感器 电容式传感器测量与亚纳米分辨率无需接触。 ...

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Physik Instrumente/德国PI
Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
P-612.Z series

运行行程: 100, 110 µm

... -行驶范围 100 µm -分辨率为 0.2 nm -线性误差 0.2 % -紧凑:占地面积 60 mm x 60 mm -极具成本效益的控制器/压电机械系统 -无摩擦、高精度柔性导向系统 -PICMA® 压电致动器具有出色的使用寿命 干涉 显微镜 纳米 生物技术的 测试程序和质量保证 半导体技术 由于零播放柔性导轨而具有高导轨精度 Flexure 导轨不受维护、摩擦和磨损,不需要润滑。 它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。 它们具有 100 % ...

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Physik Instrumente/德国PI
XYZ轴纳米定位平台
XYZ轴纳米定位平台
P-620.2, P-629.2 PIHera series

运行行程: 50 µm - 1,800 µm

... -行程范围 50 到 1800 µm -分辨率为 0.1 nm -定位精度 0.02% -使用电容式传感器直接测量 -X, XY, Z, XYZ 版本 由于 PICMA® 压电致动器具有出色的使用寿命。 专利的 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。 这可保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。 PICMA® 致动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘致动器长 10 倍。无一次故障可达 1000 亿次循环。 由于零播放柔性导轨,导轨精度高, 柔性导轨无需维护、摩擦和磨损,无需润滑。 ...

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Z轴纳米定位平台
Z轴纳米定位平台
Model ZSA-1000C

运行行程: 1 mm

... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动,用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性,最小的滚动和倾斜以及动态响应,从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对,用于闭环控制,并采用高分辨率电容式探头,在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程:1050 微米 ± 10% • 闭环行程:1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率:20 ...

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