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... APX300-S 诞生于成熟的干式蚀刻技术，包括获得专利的多螺旋感应耦合等离子体线圈 (MS-ICP) 及其在化合物半导体材料阵列中的应用。APX300-S 可以处理功率器件、声表面波滤波器、通信器件或 MEMS 传感器市场中使用的晶片。 我们的多螺旋线圈 ICP (MS-ICP) 源技术可让您的操作实现高度统一的工艺结果。可用的束射型 ICP (BM-ICP) 选件具有更高的电子密度，可实现更快的处理速度和更广泛的处理能力。还提供大气和真空处理系统选项。 - 获得专利的多螺旋 ICP 线圈 ...
... 概述
LEYBOLD OPTICS IBT 系列（例如 IBT 800）为离子束晶圆处理系统，面向半导体与射频基板的高精度整平、特征修整与受控材料去除。系统集成自动搬运、批处理与双预抽腔体，兼顾产能与工艺可重复性。
主要优势
- 离子束技术：成熟的离子束工艺，已针对半导体与 RF 应用进行扩展。
- 高产能：机器人自动搬运、批处理载具与双预抽腔体共同提升晶圆吞吐量并缩短循环时间。
- 集成量测：可选 OTFP