化学晶圆蚀刻机

微电子行业

边缘隔离+ PSG蚀刻流线系统组合在一个系统的几处理步与模块设计。一方面在扩散过程中引起的薄酥饼的rearside的放射器层数与薄酥饼的前方单方地被隔绝为了防止太阳能电池的故障。另一方面亚磷硅酸盐玻璃(PSG)从薄酥饼表面被取消。 在放射器受水面具的保护的边缘隔离时由施密德开发了并且给予了专利。特别被描出的运输路辗保证化学完全进入联络与rearside，并且一点化学被消耗。 对于磷硅酸盐玻璃特别持续的蚀刻轴使用而不是轴符合O环。这些在薄酥饼不留下印象。另外，修改过的传动机允许轴的容易的清洁。所以，薄酥饼的有机污染由运输系统的被排除。 漂洗在各自的处理步之间保证极小的阻力。施密德的多小瀑布技术减少DI water的消耗量。由于流线系统、生产量和处理步的模块设计可以适应顾客的需要。另外，特别清洗的过程为PERC细胞是可利用的。