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运行行程: 100, 50, 75, 25 mm
速度: 500, 145 mm/s
... 我们的第二代ANT95L线性平台是满足您纳米级运动和定位需求的领先解决方案。它们有多种配置，在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中最好的。此外，ANT95L平台具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力，是放大你的工艺的绝佳选择。 设计特点 -增强的第二代设计 -实现了0.5纳米的最小增量运动 -新增 -在长达100毫米的行程中提供纳米级的定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有出色的动态性能和强大的负载能力 -通过无铁直接驱动的线性马达，优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -可轻松集成到多轴组件和运动子系统中 关键应用 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想选择，包括。 -光电装配和检测 -光纤对准和优化 -光器件制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用 ...
Aerotech/美国Aerotech
速度: 4.68, 46.85 mph
... ANT95R直驱旋转平台具有前所未有的在位稳定性和低于0.01角秒的增量运动性能，并提供两种精度等级。其紧凑的尺寸使其易于与其他运动轴和系统集成。 设计特点 分辨率为-0.01角秒 -0.005角秒的位置稳定性 -杰出的误差运动规格 -多轴配置 -高动态性能 -有限和无限旋转 多轴能力 ANT95R系列的设计是为了与Aerotech的ANT线性平台产品兼容和易于整合.这些平台一起为几乎所有的纳米制造或检测应用提供精度, 稳定性和小尺寸的性能能力. ...
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运行行程: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
... 我们的第二代ANT95LZ平台是专门为在垂直方向提供纳米级的运动和定位性能而设计的。用户可调节的超低摩擦气动平衡装置使它们在分辨率、精度、重复性、尺寸和可靠性方面成为同类产品中最好的。它们令人印象深刻的动态能力和增强的承载能力，使ANT95LZ平台成为您需要卓越的垂直运动时的最佳选择。 设计特点 -增强的第二代设计 -实现最小增量运动至1纳米 - 新产品 -在长达50毫米的行程中提供纳米级的定位性能 -通过用户可调整的超低摩擦平衡装置，在垂直方向上实现了高达5公斤的有效载荷的精确性能。 -采用高精度交叉滚柱轴承，具有出色的动态性能和强大的负载能力 -采用无铁直接驱动的线性马达，最大限度地提高了工艺产量和可靠性 关键应用 ANT95LZ是需要高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择，包括。 -光电组装和检测 -光纤对准和优化 -光器件制造、测试和检验 -传感器测试与鉴定 -半导体加工与检测 -研究与实验室应用 ...
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运行行程: 100 µm - 600 µm
... QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑、高刚度的封装中提供亚纳米级的性能。各种行程（100微米到600微米）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准等应用的理想解决方案。 设计特点 -行程范围从100 µm到600 µm可供选择 -设备寿命长 -高精度、无摩擦的挠性引导系统 -更高的定位分辨率和线性度，直接测量电容式传感器选项达到0.007%。 -与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容 -开环和真空版本 紧凑包装中的高质量 QNP压电平台由精密挠性体引导，通过有限元分析进行优化，以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高的工艺产量和快速闭环响应。此外，这些平台的设计提供了出色的几何性能（直线度和角度误差），同时最大限度地减少了整个平台的封装尺寸。 高分辨率和定位精度 所有的QNP压电平台都可以选择使用独特的电容式传感器进行闭环反馈，从而实现亚纳米级的分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位小车的输出，实现了卓越的精度和可重复性。 超精密控制 当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器结合时, ...
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运行行程: 100 µm - 600 µm
... QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑、高刚度的封装中提供纳米级的性能。各种行程（100微米到600微米）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准等应用的理想解决方案。 设计特点 -行程范围从100 µm到600 µm可供选择 -设备寿命长 -高精度、无摩擦的挠性引导系统 -更高的定位分辨率和线性度，直接测量电容式传感器选项可达到0.007%。 -与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容 -开环和真空版本 紧凑包装中的高质量 QNP压电平台由精密挠性体引导，通过有限元分析进行优化，以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高的工艺产量和快速闭环响应。此外，这些平台的设计提供了出色的几何性能（直线度和角度误差），同时最大限度地减少了整个平台的封装尺寸。 高分辨率和定位精度 所有的QNP压电平台都可以选择使用独特的电容式传感器进行闭环反馈，从而实现亚纳米级的分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位小车的输出，实现了卓越的精度和可重复性。 ...
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运行行程: 100, 120, 250, 300 µm
... QFOCUS® QF46Z压电式纳米定位平台系列可实现显微镜物镜和光学器件的高速定位，具有纳米级性能。QF46Z有100 μm和250 μm的闭环行程（120 μm和300 μm的开环），在不牺牲动态操作和纳米级精度的情况下提供长行程。 设计特点 -行程从100微米到300微米 -高刚度和高动态性，使其具有出色的步进和沉降以及扫描性能 -高精度、无摩擦的挠性引导 -设备寿命长 -采用直接测量电容式传感器选项，具有更高的定位分辨率和线性度 -安装灵活，有各种螺纹适配器或安装孔，可用于定制安装安排 -直径达29毫米的清晰孔径 QF46的设计考虑到了下一代的光学仪器和激光机。例如，QF46Z由于其更高的内在刚度，可以比具有更大和更重的高数值孔径（NA）物镜的竞争产品表现得更好。QF46Z是任何要求高精度和高产量的长行程光学应用的完美选择。 精密的机械结构 QFOCUS ...
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运行行程: 12 mm
速度: 20 mm/s
... SLC-1720是SmarAct的SLC-17系列中最小的纳米级精密线性平台。它的尺寸为22 x 17 x 8.5 mm，是世界上最小的闭环压电平台，具有纳米级的分辨率和宏观的行程范围。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示了1720的尺寸和规格，用于大气或高压环境，配备了S-位置传感器。如果需要其他型号的技术图纸和详细规格，如兼容UHV的平台，具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项，请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 ...
运行行程: 21 mm
速度: 20 mm/s
... 尺寸为30 x 17 x 8.5 mm，这个小型纳米精密线性平台SLC-1730提供21 mm的行程范围和20 N的正常负载。 请注意，这种线性压电平台的可下载文件显示的是1730的尺寸和规格，用于大气或高压环境，配备了S-位置传感器。如果需要其他型号的技术图纸和详细规格，如兼容UHV的平台，具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项，请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 [N] - 20 最大。提升力[N] -> 1.5 尺寸[mm] ...
... Phi Drive已开发出一系列纳米定位压电级，适用于工业、研究和计量市场领域，这些领域需要很小和非常小的位移。 实现纳米级或亚纳米级的位移并不容易，而且这种系统通常对外部噪声非常敏感。COR-PS产品系列的阶梯已经被设计成对噪声源非常坚固，这要归功于以下几点。 混合式布局，采用高惯性的钢制和麦格莱尔的混合布局，使机械振动更稳定。 专门设计的电子装置，最大限度地降低了噪音，提高了对外部干扰的稳定性。 所有的COR-PS级都是基于压电驱动和位移放大挠曲机构。 纳米分辨率。15到0.18纳米 110 ...
运行行程: 1 mm
... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动，用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性，最小的滚动和倾斜以及动态响应，从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对，用于闭环控制，并采用高分辨率电容式探头，在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程：1050 微米 ± 10% • 闭环行程：1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率：20 ...
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