单轴纳米定位平台
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... SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势,实现了高达 100 μm 的高精度定位任务。 PLF3232-x.60 的 X 方向扫描范围为 60 μm。其重量仅为 30 克,体积仅为 32 x 32 x 12 毫米,非常轻巧。 规格 扫描范围 [µm] - > 60 最大法向力 [N] - 5.0法向力 [N] - 5.0 尺寸 [mm] - 32 x 32 x 12 重量 [g] - 30 材料 底座材料 - 钛(-TI)/铝底座(-Al) 开环 开环分辨率 MCS2 ...
... SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势,实现了高达 100 μm 的高精度定位任务。 PLF5252-x.200 在 X 方向的扫描范围超过 200 μm。其重量仅为 90 克,体积仅为 52 x 52 x 15 毫米,非常轻巧。 规格 扫描范围 [µm] - > 200 最大扫描力 [N] - 5.0法向力 [N] - 5.0 尺寸 [mm] - 52 x 52 x 15 重量 [g] - 90 材料 底座材料 - 钛(-TI)/铝底座(-Al) - 开环 开环分辨率 ...
运行行程: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
重复精度: 3 nm
... NanoScan-SP 系列压电驱动平台具有最佳的定位性能和最快的 Z 堆叠间恢复速度,可与 Prior 电动平台以及使用适当转接板的许多普通显微镜兼容。超薄的 13.7 毫米高度是 400 微米和 600 微米闭环版的一大特点,为样品区的照明提供了更好的通道。附件插入板适用于各种样品,包括孔板、微滴板、载玻片和培养皿。 ...
运行行程: 1 mm
... 帝斯曼的纳米压电 ZSA-1000C 级具有 1 毫米垂直行程范围内的柔性导向运动,用于扫描、计量和检测过程。 稳定和坚硬的运动设计促进了输出运动中的平行性,最小的滚动和倾斜以及动态响应,从而实现出色的位置稳定性和控制性。 该级别可与 DSM 的 SA-500 配对,用于闭环控制,并采用高分辨率电容式探头,在指定扫描区域提供 20nm 位置稳定性和非常稳定的速度剖面。 • 开环行程:1050 微米 ± 10% • 闭环行程:1000 微米 ± 10% • 闭环分辨率:20 纳 米典型刚度:0.4 ...
运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV,100 - 300 mm行程,0.02 µm重复性,最高10 kg负载 - 真空:所有区域HV/UHV,最高10E-11 mbar - 润滑:液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本(根据要求可达到1级)。 - ...