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运行行程: 500 mm
重复精度: 0.05 µm
... 产品
压电Z台
货号
00-55-550-0810
主要特性
- 含控制器 EBD-060310
- 行程：500 µm
- 分辨率：5 nm / 31 nm
- 重复定位精度：50 nm
- 兼容大多数 Märzhäuser SCAN IM 系列扫描台
- 压电控制器可直接连接至带 AUX I/O 的 TANGO 控制器
- 可实现最大500
运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空线性平台和轴 纳米级线性平台 高达10E-11的HV/UHV，100 - 300 mm行程，0.02 µm重复性，最高10 kg负载 - 真空：所有区域HV/UHV，最高10E-11 mbar - 润滑：液体可达10E-8 mbar/干的可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s
... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径：80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台（如DT155）结合，用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1（根据要求达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 在纳米范围内具有最高的稳定性，即使在干燥的操作中也是如此 带透射光孔的定位系统由两个LT300直线平台组合而成，形成一个精确的重型XY平台，适用于高真空、超高真空和极端紫外线辐射下的应用。该系统的运行完全不需要润滑剂。它的交叉滚子导轨和导螺杆的概念使其在纳米范围内具有极高的稳定性。另外，该系统还可以设计成带润滑的滚珠丝杠驱动，以获得更高的速度。 应用的领域 重物的精密定位，超高真空和极端紫外线辐射下的研究，样品制备，样品扫描，样品处理，生物芯片，相机对准，材料研究，材料分析，光束线，加速器，同步加速器 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH