半导体显微镜

倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000 专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。 • 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM) • 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 • 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。

倍率: 5 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 15, 4, 3 nm

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身 日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。 ①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察 ■样品台可搭载超大/超重样品 • 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 • 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率 • 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* • ...

倍率: 20 unit - 8,000,000 unit
空间分辨率: 0.08, 0.1 nm

200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能 通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。 透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的具有扫描透射电子显微镜“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。 对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。 ※附带第二显示器（可选），显示屏为嵌入式合成界面。 特点 • ...

空间分辨率: 1 µm

MX63和MX63L显微镜系统特别适合尺寸最大300毫米的晶圆、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计可让您根据需要选择组件，获得根据应用定制的系统。 这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时保持检测者的工作舒适性。在与奥林巴斯Stream图像分析软件结合使用情况下，可以简化从观察到报告生成的整体工作流。

... 新的 “机器视觉显微镜”（MVM）是一种纯粹的数字显微镜，具有使显微镜的所有功能。 它具有复差高度校正显微镜物镜和相应的管镜头，可将每个物体点放大到 5MP 索尼 IMX264 传感器的像素。 此外，还安装了一个同轴入射光照明和一个漫射环灯。这两个指示灯均通过集成摄像头的 USB 3.1 端口进行控制和供电。专门开发的控制电子设备允许两个光源的交替操作。 该模块提供了前所未有的可用性。它们配备了自己的图像采集软件，因此它们可以轻松地集成到任何网络、系统或生产环境中。因此，新的数字显微镜可以很容易地集成到测量仪器、分析系统或生物成像系统中。 ...

... 倒置显微镜结构紧凑，经久耐用，用于高放大率的需要。它们是分析具有平坦样品表面的安装样品的理想选择，配备了BF、DF、DIC和POL等多种光源，可用于多种分析。 入门级倒置显微镜，用于硬度测试的一般应用。 工业和材料科学倒置显微镜，特别设计用于不透明试样（包括金属微观结构调查和研究，如晶粒尺寸、晶界、相、转变、包裹体和非金属，以及 样品制备和处理）的金相实验室。可根据客户的喜好自由配置镜头，FN24高视点，无限远校正光学系统，同轴对焦，机械平台，以及由卤素灯供电的12V/100W亮度控制的外照灯附件。坚固和令人难以置信的可靠性，它配备了所有的主要控制装置，处于符合人体工程学的位置，并配有持久、高效的LED照明，可提供超过20年的使用。 ...

ZTX-S系列连续变倍摄影像显微镜具有高分辨率、高清晰度和强立体感的光学成像系统，通过简便操作就可以获得连续变倍图像，广泛应用于电子行业中半导体和集成电路板的检测以及教学、农业、电子工业和仪器仪表行业作精细零部件的检验、装配、修理。

... - 可选配向内旋转的转塔和工作距离较长的高质量物镜，操作性极佳。 - 是半导体探针工作站显微镜单元的理想选择。 - L 型和 L4 型支持波长范围从 266 到 1064 nm 的 YAG 激光，可对薄膜和液晶基底进行激光切割。 - 符合人体工程学的设计，配有用于粗调焦距和放大微调焦距的组合旋钮。 ...