CVD镀膜机

低压化学气相沉积设备（型号：MM650），工艺成熟，稳定，较早用于TOPcon电池量产的LPCVD设备。 产线平均良率较高，镀膜均匀性好； 自有专利的布气系统，增加了流场均匀性和可控性 良率高 自有专利的流程设计带来量产中高的良率，镀膜均匀性好。 石英管周期长 通过特殊设计的石英管固定方式和低的耗气量，实现6个月的使用周期。 温场稳定 通过合理的加热丝布局，具有较好一致性好和可控性，从而使温场稳定可控。