自动激光切除系统 D632D

D632D 半切太阳能电池紫外线烧蚀系统主要设计用于半切XBC电池的激光烧蚀工艺。 该系统利用紫外和绿光皮秒激光在BSG/PSG、n-多晶硅及a-Si:H薄膜上刻蚀图案，配合后续湿法工艺，可在背面实现p/n区隔离。 P1 产能 ≥9600片/小时@210*105 P2 产能 ≥7200片/小时@210*105 对准精度 ≤10微米 精度卓越、稳定性极佳的图案化激光 因其卓越的稳定性、出色的对准精度、极小的热影响区以及高效的除尘性能而广受客户认可 高稳定性 高度稳定的定向光学系统。 高均匀性 高均匀性的成形光斑；支持光斑尺寸调节，无需更换DOE。 高速 超高速振镜扫描系统。 高精度 高精度定位与对准。 高效除尘 高效除尘系统，最大限度地减少灰尘对工艺和组件的影响。