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固定式测厚仪 SK-FTM-Map series
用于膜光谱反射率带自动校准功能

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产品规格型号

类型: 固定式
应用: 用于膜
所用技术: 光谱反射率
校准: 带自动校准功能
测量范围: 300 mm
(11.81 in)

产品介绍

晶圆测绘单元能够在高达300毫米的晶圆的整个表面上自动测绘膜厚。自动对准功能、自我校准功能和高平整度的晶圆夹头使得薄膜厚度测量高度可靠。该装置与紧凑型薄膜厚度监测仪结合使用。它可以安装在半导体制造设备的装载口，在保持清洁的同时控制制造设备上的薄膜厚度。 1 可以对最大300毫米的晶圆进行自动膜厚测绘测量 2 自动对准功能 3 自动校准功能 4 通过采用高平整度的晶圆夹头，提高了在晶圆表面的测量可靠性 5 支持自动化 6 负载端口安装

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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)