固定式测厚仪 SK-FTM series

用于膜光谱反射率精准

紧凑型薄膜厚度监测仪是一种反射式分光光度计，使用一个小型反射探头，适用于从实验室层面到生产过程中的在线100%检测的所有情况。它有很好的可维护性，可用于纳入工艺设备和生产线管理。 可以同时测量多达9种类型的透明薄膜。 它可以作为各种多层薄膜工艺的在线或端点监测器。 紧凑的探头可以安装在加工工具内部的一个小空间里。它还可以通过EMA理论判断混合层的混合比例或多晶硅的结晶度。