旋转喷雾仪 RTSP-PS
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产品介绍
磁控溅射源规格
主要特点
1.有限元磁场设计
2.磁体与冷却水隔离
3.与 DC/MF 和射频电源兼容
4.目标利用率高
5.弹射方向可调
6.功率密度高，均匀性好
7.平衡和非平衡模式选择
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