氧气分析仪 NanoChrome ULTRA

二氧化碳一氧化碳氮

革命性的NanoChrome ULTRA是半导体行业中超痕量纯度测量的优选，革命性的NanoChrome ULTRA结合了气体传感和信号处理方法的全新进展，具有非凡的性能。 NanoChrome ULTRA是专为半导体制造业设计的高性能分析仪，可对氩气（Ar），甲烷（CH4），一氧化碳（CO），二氧化碳（CO2），氢气（H2），氮气进行最高可靠性的监控（N2）和非甲烷碳氢化合物（NMHC），包括Ar，H2，氦（He），N2和氧气（O2）。 NanoChrome ULTRA更新了更大的显示屏和全新软件，使用了先进的等离子发射检测器（PED）传感器和灵敏的ProPeak软件，这两种软件都是由Servomex专门开发的。 低成本，高性能 NanoChrome ULTRA的传感技术在性能，稳定性，安全性和降低持续成本的能力方面，比传统的火焰离子化检测器（FID）和还原气体检测（RGD）传感技术具有明显优势。 Servomex的高级信号恢复使用获得专利的ProPeak滤波方法来提供您可以信赖的高度敏感和选择性的测量。 NanoChrome ULTRA不需要甲烷化器或不需要可燃气体，也可带来可观的成本优势。 超高压气体监测应用的权威解决方案 监控半导体晶圆制造中使用的UHP气体时，更高的灵敏度和性能至关重要。 合适的分析解决方案必须提供监控的灵活性， 普通背景气体中所有必需的气体-并且在超痕量水平下具有完全的选择性和准确性。无论您的应用程序需要什么，您都需要一种可以降低持续成本并帮助您提高业务效率的解决方案。我们认为您不必妥协。 绝不妥协的解决方案 NanoChrome ULTRA是改变游戏规则的分析仪，可提供目前超高水平的性能精度和选择性。使用先进的专利PED感应技术， 与同类分析技术相比，该设备具有明显的优势。它不仅高度适用于各种气流中测量的气体，还消除了对易燃气体的需求-使NanoChrome ULTRA可以提供增强的安全性解决方案。当需要完整的独立解决方案时，可以将NanoChrome ULTRA与DF-500（超痕量ppt O2）和DF-700（超痕量水分）分析仪系列结合使用。 维护简单，降低了运行成本 通过将Servomex专门开发的非消耗型PED技术与先进的处理和操作软件相结合，NanoChrome ULTRA可以延长校准周期，从而在产品使用寿命内大大降低了持续的成本。加法 智能信号处理功能可确保该设备提供高准确性，从而更大程度地延长过程正常运行时间。全面的数字通信协议以及通过网络或Internet浏览器的访问有助于灵活的远程设备交互，而智能软件包提供了生成全面报告和统计分析的能力。这使NanoChrome ULTRA成为可与所有其他UHP气体监测分析仪进行比较的分析仪。