产品简介GC-LMKC01是用于硅片切片工艺中WGR(线导辊)开槽的激光开槽机。该设备采用超快激光系统,可减小热影响区并实现非接触切割,从而降低对WGR的径向压力。该方式提高了开槽精度,满足硅片切片过程中对高精度开槽的要求。系统兼容多种超细金刚石线类型及工艺参数,有助于提高硅片切片的良率。
产品参数加工长度范围:890~1080 mm
加工直径范围:130~180 mm
开槽长度:>960 mm
加工方式:激光
设备尺寸(长×宽×高):3600×1750×1950 mm
设备重量:5500 kg
技术规格- 型号:GC-LMKC01
- 应用:用于硅片切片的WGR(Wire Guide Roller)开槽
- 激光系统:超快激光
- 加工方式:非接触激光切割,以减少径向压力和热影响区
- 加工长度范围:890~1080 mm
- 加工直径范围:130~180 mm
- 开槽长度:>960 mm
- 设备尺寸(长×宽×高):3600×1750×1950 mm
- 设备重量:5500 kg
- 兼容多种超细金刚石线以提高切片良率