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光学轮廓测量仪 Gocator 6300 Series3D激光扫描用于半导体
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产品规格型号
- 所用技术
- 3D, 光学, 激光扫描
- 应用
- 用于半导体
- 其他特性
- 高速
- 测量范围
5.5 mm, 17 mm
(0.22 in, 0.67 in)
产品介绍
Gocator 6300 系列是 LMI 技术公司业界领先的智能三维激光轮廓仪系列的最新产品。这些功能强大的传感器将上一代 LMI 激光轮廓仪的高速度和高精度与重新设计的光学设计相结合，实现了极致的 2D/3D 扫描性能。
- 每个轮廓超过 6500 个点，可进行精确的 2D/3D 测量和检测
- X 轮廓数据间隔全帧可达 1800 Hz (FOV/MR)
- 视场角可达 31 毫米（在 < 4.3 微米 X 轮廓数据间隔时）
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