晶圆搬运夹 WHA series

可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。€‚ ■固定、搬运。 采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。 ■不会接触晶片内外面。 只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。 ■适用于1级洁净室。 ■WHA系列 只设侧臂的单侧驱动式边缘夹具。