电子束平版印刷系统 JBX-8100FS

激光

点阵式电子束光刻系统JBX-8100FS实现了高产量、小面积和省电。 特点 占地面积小 标准系统所需面积为4.9米（宽）×3.7米（深）×2.6米（高），比传统系统小得多。 低功率消耗 正常运行所需的功率约为3千伏安，减少到传统系统的1/3。 高产量 该系统有两种曝光模式，高分辨率和高产量模式，支持从超精细加工到中小尺寸生产的不同类型的图案。它最大限度地减少了曝光期间的空闲时间，同时将最大扫描速度提高了1.25至2.5倍，达到125兆赫（世界最高水平），用于高速写入。 版本 JBX-8100FS 有两个版本：G1（入门机型）和 G2（全选机型）。可根据需要在G1型号上增加可选的附件。 新功能 可选的光学显微镜，使样品上的图案无需暴露在光线下即可检查。一个信号塔作为标准配置提供给系统操作的视觉监控。 激光定位分辨率 平台位置的测量和控制标准为0.6纳米步长，可选择升级为0.15纳米步长。 系统控制 多功能的Linux®操作系统与新的图形用户界面相结合，使操作更加简便。数据准备程序同时支持Linux®和Windows®。