电子束平版印刷系统 JBX-3200MV
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产品规格型号
- 类型
- 电子束
产品介绍
JBX-3200MV是一个可变形状的电子束光刻系统，用于28纳米到22/20纳米节点的掩模制作。它的尖端技术实现了高速度、高精度和高可靠性。该电子束系统使用一个可变形状的50千伏电子束和一个步进重复的试样台。
特点
利用步进重复写入法的优点，该EB系统结合了各种功能，如写入剂量调制功能和覆盖写入功能，从而使其有可能支持下一代掩模和网纹所需的多功能修正。
日本和海外的俘虏面具店和商人面具店
(客户名称不公开)
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