计量站 JW series

概述
Shenzhen Jewellok Technology Co., Ltd. 提供用于超高纯度化学品（UHP）处理的自动化解决方案，包括化学品供给模块（CDM）和化学品供给系统（CDS）。CDS 使用电解抛光 316L 管路实现从仓储到设备的散装自动输送；CDM 在使用点实现混合、稀释和精确计量。两套系统都带有自动漏液检测和非接触液位监测，以保证安全性和工艺纯度。

技术参数

• 型号：JW-200L-CDM、JW-1000L-CDM
• 特殊气体柜（双桶示例）：W2200×D1500×H2000 / W2990×D2100×H2000
• 控制柜电源：220VAC，50Hz，0.5–3 kW，带漏电保护
• 置换气体：氮气（PN2），SS316 1/2" SWG
• 超纯水接口：UPW，JIS 16A 连接
• 压缩干燥空气：CDA，SS316 1/2" SWG
• 废液出口：PP DN20 或 PP DN25 熔接接口排水

标准配置与特点

• PP 外壳，带透明 PVC 观察窗
• 湿部采用 PFA 内管和阀件
• 氮气置换以实现惰化和防止气泡
• 取样口便于过程控制与质控
• 全自动酸料供给及左右桶自动切换
• 泵组配置：两用一备，按液位自动切换
• 触摸屏显示阀门工作状态与管路供液状态
• 系统部件自动断供、预警与报警
• 自检功能与多重安全确认
• 系统架构简洁，支持多语言人机界面及多路信号输入
• 可选配件：条码/二维码扫描仪、高效过滤器、门缝传感器

应用领域

• 半导体制造
• 光伏及太阳能电池生产
• 液晶面板（LCD）生产
• 光纤制造
• 其他精密化学工艺领域

可处理的特殊化学品

• HF — 氢氟酸
• HCl — 盐酸
• H2O2 — 过氧化氢
• KOH — 氢氧化钾
• HNO3 — 硝酸
• NH4OH — 氢氧化铵
• H2SO4 — 硫酸

功能

• 过滤
• 取样
• 循环
• 输送（点用供液与转移输送）

技术规格

• 型号：JW-200L-CDM、JW-1000L-CDM
• 机柜尺寸（双桶示例）：W2200×D1500×H2000 与 W2990×D2100×H2000
• 控制柜电源：220VAC，50Hz，0.5–3 kW，带漏电保护
• 置换气体：氮气（PN2）经 SS316 1/2" SWG
• UPW 接口：JIS 16A
• 压缩干燥空气：CDA 经 SS316 1/2" SWG
• 废液出口选项：PP DN20 或 DN25 熔接接口
• 湿部材料：电解抛光 316L 或 高级氟聚合物（PFA）
• 泵送方式：氮压或磁力驱动泵，保证无气泡输送
• 自动化：PLC/逻辑控制器、触摸屏 HMI、自动桶切换
• 安全：实时漏液检测、报警、自动断供、支持灭火系统接口
• 可选件：高效过滤器、门传感器、条码/二维码扫描仪