计量站 JW-300-LDS

危险蚀刻剂与挥发性有机溶剂分配的定制化学输送系统（CDS）工程
在处理危险蚀刻剂和挥发性有机溶剂时，安全性与材料相容性是设施工程的基本前提。定制化学输送系统（CDS）专为管理这些高风险流体而设计，确保从大容量储存到生产设备的运输在不危及人员安全和环境完整性的情况下进行。

材料与污染控制
对于诸如氢氟酸（HF）等强腐蚀性酸，定制工程通常采用PFA内衬管路或高等级316L电解抛光不锈钢以防止腐蚀和金属离子浸出。系统按超高纯度（parts-per-trillion）要求配置，使用316L电解抛光不锈钢并达到5Ra表面粗糙度，以将颗粒脱落最小化并在整个流体路径上确保化学惰性。

安全、自动化与封闭防护
定制Jewellok CDS的智能体现在其自动化安全架构。每套系统均配备二次封闭（管中管或柜中柜）并配合高灵敏度泄漏检测。由集中PLC（可编程逻辑控制器）管理，系统在检测到泄漏或压力异常时可触发气动阀的立即自动关闭。额外安全措施包括对挥发性溶剂的氮气覆罩以维持惰性气氛、自动泄漏检测、防爆机柜选项及多层次安全联锁以保护人员与产品良率。

技术参数

• 型号 — JW-300-LDS
• 特制气体柜尺寸 — W1900*D800*H2100
• 控制柜电源 — 控制电源: 220VAC, 50Hz, 500W；加热: 220VAC, 50Hz, 1-6KW
• 吹扫 — PN2, 1/4" MVCJ
• 高压保持 — GN2 1/4" MVCJ
• 真空 — 1/2" MVCJ
• VENT 排水管 — CDA driver, 1/4" SWG
• 气源 — OD 150MM, silane 810 m3/hr；其他 204 m3/hr
• 机柜通风 — OD 150MM, silane 810 m3/hr；其他 204 m3/hr
• 标准设备 — 自动切换、自动吹扫、防爆及防脱落机柜、耐爆自锁门、防爆观察窗、泄漏报警、远程切断、负压报警
• 操作界面 — 10" 彩色触摸屏

可选项

• UV/IR 火焰探测器
• 气瓶加热
• 面板加热
• 以太网通信模块
• 称重模块
• 超流量开关
• 烟雾传感开关

应用领域

• 半导体
• 光伏
• 太阳能
• 液晶面板
• 光纤
• 其他生产领域

处理的特种化学品

• HF - 氢氟酸
• HCL - 盐酸
• H2O2 - 过氧化氢
• KOH - 氢氧化钾
• HNO3 - 硝酸
• NH4OH - 氢氧化铵
• H2SO4 - 硫酸

功能

• 液体化学品过滤
• 液体化学品取样
• 液体化学品循环
• 液体化学品输送

附加产品详情
产品包含用于点用混合与稀释的Chemical Delivery Modules (CDM)以及用于大规模分配的批量CDS解决方案。系统集成UHP隔膜阀并采用金属对金属密封及PLC控制的自动化，实现精确配方管理与预测性维护，旨在降低停机时间并达到>99.9%可用率。

规格 / 技术规格

• 型号: JW-300-LDS
• 气柜尺寸: W1900*D800*H2100
• 控制电源: 220VAC, 50Hz, 500W；加热: 220VAC, 50Hz, 1-6KW
• 吹扫: PN2, 1/4" MVCJ
• 高压保持: GN2 1/4" MVCJ
• 真空: 1/2" MVCJ
• VENT 排水: CDA driver, 1/4" SWG
• 气源与通风: OD 150MM, silane 810 m3/hr；其他 204 m3/hr
• 操作界面: 10" 彩色触摸屏
• 标准配置: 自动切换、自动吹扫、防爆机柜设计、泄漏报警、远程切断、负压报警
• 可选功能: 火焰探测、加热选项、以太网模块、称重、超流量开关、烟雾探测
• 材料与表面: 316L 电解抛光不锈钢，5Ra 表面处理以满足 UHP 纯度