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计量站 JW-300-LDS CDS
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产品介绍
概述
液体化学品供应模块（CDM）JW-300-LDS CDS 以超高纯度（UHP）隔膜阀为核心，适用于半导体生产中处理强腐蚀刻蚀剂和研磨浆料。阀门的正确选型、监测与维护对于防止污染、粒子脱落和非计划停机至关重要。
维护与设计建议
优先选择具有金属对金属密封的 UHP 隔膜阀，将工艺流体与执行器隔离以消除死腔。通过 CDM 的 PLC 实施预测性监测：跟踪阀门循环次数并监测歧管压降，以在膜件失效前发现异常。建立去离子水冲洗规程以防止阀座处化学结晶，并在计划停机窗口内更换高磨损部件，以维持万亿分之一（ppt）级别的纯度并延长模块寿命。
技术参数
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen
可选项
应用
处理的特殊化学品
功能
关于结构与性能的说明
湿接触路径采用 316L 电解抛光不锈钢，表面粗糙度 5Ra，以确保零粒子脱落并最大化化学惰性。专用 UHP 隔膜阀采用金属对金属密封并配合 PLC 控制的自动化实现配方管理和预测性维护。多层安全协议包括二次围护、氮气覆盖和自动泄漏检测，以保护人员和产量。
技术规格
液体化学品供应模块（CDM）JW-300-LDS CDS 以超高纯度（UHP）隔膜阀为核心，适用于半导体生产中处理强腐蚀刻蚀剂和研磨浆料。阀门的正确选型、监测与维护对于防止污染、粒子脱落和非计划停机至关重要。
维护与设计建议
优先选择具有金属对金属密封的 UHP 隔膜阀，将工艺流体与执行器隔离以消除死腔。通过 CDM 的 PLC 实施预测性监测：跟踪阀门循环次数并监测歧管压降，以在膜件失效前发现异常。建立去离子水冲洗规程以防止阀座处化学结晶，并在计划停机窗口内更换高磨损部件，以维持万亿分之一（ppt）级别的纯度并延长模块寿命。
技术参数
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen
可选项
- UV/IR 火焰探测器
- 气瓶加热
- 面板加热
- 以太网通讯模块
- 称重秤
- 超流量开关
- 烟感开关
应用
- 半导体
- 光伏
- 太阳能
- 液晶面板
- 光纤
- 其它生产领域
处理的特殊化学品
- HF - 氢氟酸
- HCL - 盐酸
- H2O2 - 过氧化氢
- KOH - 氢氧化钾
- HNO3 - 硝酸
- NH4OH - 氢氧化铵
- H2SO4 - 硫酸
功能
- 液体化学品过滤
- 液体化学品取样
- 液体化学品循环
- 液体化学品输送
关于结构与性能的说明
湿接触路径采用 316L 电解抛光不锈钢，表面粗糙度 5Ra，以确保零粒子脱落并最大化化学惰性。专用 UHP 隔膜阀采用金属对金属密封并配合 PLC 控制的自动化实现配方管理和预测性维护。多层安全协议包括二次围护、氮气覆盖和自动泄漏检测，以保护人员和产量。
技术规格
- Model: JW-300-LDS CDS
- 机柜尺寸: W1900 × D800 × H2100
- 控制电源: 220VAC, 50Hz, 500W; 加热电源: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
- 吹扫气体: PN2, 1/4" MVCJ
- 高压保持: GN2, 1/4" MVCJ
- 真空接口: 1/2" MVCJ
- VENT 排水管: CDA driver, 1/4" SWG
- 气源容量: OD 150mm; 硅烷 810 m³/hr; 其它 204 m³/hr
- 机柜通风能力: OD 150mm; 硅烷 810 m³/hr; 其它 204 m³/hr
- 操作界面: 10" 彩色触摸屏
- 标准安全/设备: 自动切换、自动吹扫、防爆机柜与门、防爆自锁门、防爆观察视窗、泄漏报警、远程切断、负压报警
- 材料与表面: 316L 电解抛光不锈钢，5Ra 表面粗糙度
- 主要功能: 液体特殊化学品的过滤、取样、循环与输送
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