热量流量计 DZ-107

质量用于气体

关键的半导体制造过程不断要求精确的气体流量控制设备，以实现未来的创新，以及领先的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。 工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT 为流程优化提供灵活性 100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制 提供高生产力和更大的过程性能 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105） 为需要小流量的工艺提供灵活性 PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能 稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量 状态监控功能 为更智能的故障预测提供更多的内部数据 状态监控功能的输出项 流量/压力调零计数 阀门驱动计数 记录最大/最小P0,P1,P2压力 最大/最小块温度记录 总时间超过/低于压力规格 总时间超过/低于温度规格 总工作时间 总控制时间 总流动时间(每个校准实例) 总流量(每个校准实例)