热质量流量调节器 SEC-Z700X

用于气体数码紧凑型

压力不敏感的质量流量控制器 SEC-Z700X系列配备了可靠的热传感器和压力不敏感功能，可以实现稳定的流量控制。板载压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。 压力不敏感 一个新的高性能功能提供了一个简化的气体供应系统。典型的多室气体管路有一个管路调节器、压力传感器和过滤器，以避免压力波动引起的质量流量控制器的串扰现象。SEC-Z700X系列表现出高稳定性，在不影响上下游压力波动的情况下控制气体流量。提供流速输出、温度和压力读数。 特点 多气体/多范围功能 客户可以改变气体类型和满量程流量。 可变PID功能在整个流量范围内提供高速响应（1秒内）。 紧凑的气路 不需要调节器、换能器和过滤器 稳定的气体流量控制，不受上游和下游压力波动的影响 集成进口压力传感器 板载多显示器 保证1%的设定值的高精确度 超洁净设计-金属膜片，全不锈钢SUS-316L，表面抛光处理（标准）。 尺寸紧凑 相同的接头到接头的尺寸可达50 SLM 信号兼容性 模拟/RS485数字模型 , DeviceNet™模型 网络功能 由数字信号控制。