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流量压力控制器 EC-5000 series
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产品介绍
EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。
优点:
适用于高真空环境：不锈钢机身
抗腐蚀：PTFE 机身可选
RoHS 标准
当排气流量被调整到适合水平：
抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
防止烟雾的二次沉积
防止危险蒸气扩散
与流量传感器控制相比，由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小，同时消除了湍流和其他噪声的影响，确保控制精准、稳定、迅速
