热质量流量调节器 SEC-8000F/D/E series
用于气体数码

热质量流量调节器 - SEC-8000F/D/E series - HORIBA STEC - 用于气体 / 数码
热质量流量调节器 - SEC-8000F/D/E series - HORIBA STEC - 用于气体 / 数码
热质量流量调节器 - SEC-8000F/D/E series - HORIBA STEC - 用于气体 / 数码 - 图像 - 2
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产品规格型号

所用技术
热质量
液体类型
用于气体
其他特性
数码
流量

最少: 3 l/min
(0.79252 us gal/min)

最多: 150 l/min
(39.62581 us gal/min)

压力

最少: 1 bar
(14.504 psi)

最多: 3 bar
(43.511 psi)

产品介绍

系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。 配备数字设备:高精度 - ±1.0% 设定点 高速响应 超洁净设计 符合 RoHS 标准

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。