热质量流量调节器 SEC-8000F/D/E series用于气体数码
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产品规格型号
- 所用技术
- 热质量
- 液体类型
- 用于气体
- 其他特性
- 数码
- 流量
最少: 3 l/min
(0.79252 us gal/min)最多: 150 l/min
(39.62581 us gal/min)- 压力
最少: 1 bar
(14.504 psi)最多: 3 bar
(43.511 psi)
产品介绍
系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
配备数字设备：高精度 - ±1.0% 设定点
高速响应
超洁净设计
符合 RoHS 标准
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