多层涂覆机

自动光伏应用

它适用于半导体和光伏领域。对于光伏领域的 TOPCon 工艺电池，LPCVD 设备可一站式完成隧道氧化层/多晶层的制备。热氧与多晶层沉积相结合，可大大提高产能，同时兼容 i/d-Poly 生长工艺。 主要特点 成熟的高产能工艺、双模温度控制技术、膜规保护技术； 具有多种镀膜技术：多层复合膜、掺杂多晶硅技术； 获得专利的快速冷却炉体：最新专利技术使炉体温度快速降至所需温度，冷却速度可提高 25% 以上，可明显改善炉管内的温度均匀性； 快速自适应压力闭环控制技术； 结构完整、性能卓越的 MES/CCRM 系统； 集成工业计算机 + 模块化过程控制软件； 全面的断电安全处理和法兰水异常保护。