PECVD镀膜机 FALO

薄膜光伏应用

它适用于高效晶体硅perc 电池工艺中致密氧化铝和其他背钝化膜材料的生长。 可在各种薄膜之间连续切换； 支持两端推舟机构，消除抖动，提高速度，增加负载，大大提高可靠性（专利）。进出舟时间不超过 20 秒（不含取舟和放舟）； 特殊形状的双炉门机构，减少热量损失（专利双炉门结构）； 石墨舟电极技术：电极面接触，前后电极互补，尾电极炉管外可调； 快速冷却炉体：采用最新专利技术，使炉体温度快速降至所需温度，冷却速度提高 25% 以上，显著改善炉管内温度均匀性； 专利的舟形存放位置平行散热模式：提高冷却效果，冷却时间缩短 15%以上，避免从控制台底部和前部进风，提高控制台内部清洁度； 石英管辅助吊装工具，大大降低了石英管的安装、维护和更换难度； 膜的致密性高于间接等离子； 钝化效果优于 ALD。