XY轴位移台 EZ-0730
倾斜式双轴精准

XY轴位移台
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产品规格型号

方向定位
XY 轴, 倾斜式
轴数量
双轴
其他特性
精准, 高速
运行行程

500 mm, 850 mm
(19.685 in, 33.465 in)

速度

500 mm/s, 1,500 mm/s

重复精度

20 nm, 40 nm

载荷

8 kg, 50 kg
(17.64 lb, 110.23 lb)

产品介绍

智能设计使 EZ-0730 平台具有最大的刚性和出色的可重复性,最大限度地减少了轴串扰。 内置功能 脉冲去耦,即使在高加速度下也能最大限度地减少串扰。 下滑板采用碳材料,重量得到优化。 使用热膨胀接近 0 的碳结构,将有害的温度影响降至最低。 集成的 11 区平面真空夹紧装置具有极高的卡盘刚性,并采用精密的压力膜技术进行高精度尖端/倾斜调整。 采用新颖的拖链概念,将来自能量链的干扰力降至最低。 无铁驱动和高精度光栅尺(海德汉 LIP6 G0)。 机床床身由花岗岩制成。轴可根据客户要求定制

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PDF产品目录

EZ-0730
EZ-0730
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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。