XY轴位移台 EZ-0715

双轴精准

EZ-0715 龙门平台专为高精度应用而设计。增量式测量系统（海德汉 LIP6 G0）和优化的设计使其定位精度达到 ± 250 nm，单轴重复精度达到 ± 25 nm。真空预载滑块和优化的质量分布使其能够在最小的安装空间内实现高刚性。无铁电机可实现高达 10 m/s2 的加速度和高达 1 m/s 的移动速度。末端位置由感应传感器检测。滑块通过对称连接的拖链单独提供能量。龙门平台的床身由花岗岩制成。两个轴均可定制。XY 系统可扩展为 Z 轴和/或 C 轴。